陶瓷棒：
因各個(gè)客戶機(jī)臺運(yùn)用上的不同，因而會延伸出多種不同外觀巨細(xì)的陶瓷棒。這個(gè)部分皆可根據(jù)各戶的需求進(jìn)行出產(chǎn)。

陶瓷螺絲
半導(dǎo)體以及光電業(yè)機(jī)臺設(shè)備因會需運(yùn)用酸堿性較高的腐蝕性化學(xué)藥劑，機(jī)臺內(nèi)運(yùn)用之螺絲也需要考慮到是否能夠抗酸堿腐蝕，故許多機(jī)臺內(nèi)的螺絲都選用陶瓷螺絲。

聚焦環(huán)
首要用在半導(dǎo)體以及光電業(yè)蝕刻機(jī)臺設(shè)備，所以機(jī)臺亦長時(shí)間與化學(xué)藥劑觸摸，故此零件大部分廠商會運(yùn)用陶瓷或是石英，石英部分較陶瓷不耐磕碰，石英磕碰后容易形成表免剝落狀態(tài)，上時(shí)機(jī)形成問題。故現(xiàn)在所知選用陶瓷的廠商現(xiàn)已越來越多。

注入器
在半導(dǎo)體機(jī)臺設(shè)備中扮演著化學(xué)氣體輸出入的人物，由于他長時(shí)間都需觸摸化學(xué)氣體，故他必須要有耐酸堿耐腐蝕的功用，避免由于他的腐蝕形成機(jī)臺設(shè)備的損害。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好合適運(yùn)用。

上下保護(hù)環(huán)
陶瓷自身無磁性之功用正好符合半導(dǎo)體機(jī)臺內(nèi)保護(hù)環(huán)防止雜訊干擾運(yùn)用，因機(jī)臺所需的尺度巨細(xì)不同，尺度部分也會因而不同。這個(gè)部分皆可根據(jù)各戶的需求進(jìn)行出產(chǎn)。

機(jī)械手臂
因半導(dǎo)體機(jī)臺設(shè)備內(nèi)常運(yùn)用化學(xué)藥劑，機(jī)臺設(shè)備所出產(chǎn)之產(chǎn)品又必須要能夠轉(zhuǎn)送下一站別，故有了機(jī)械手臂這項(xiàng)產(chǎn)品。為了避免機(jī)臺內(nèi)的化學(xué)藥劑對機(jī)械手臂發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，許多廠商現(xiàn)已開始改用陶瓷所出產(chǎn)的機(jī)械手臂。

鐘罩
會用在反應(yīng)器體系內(nèi)，且電漿或是化學(xué)氣體有時(shí)會在此停留，故在鐘罩的原料運(yùn)用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因而現(xiàn)在有許多半導(dǎo)體設(shè)備上所運(yùn)用之鐘罩選用陶瓷原料，鐘罩之外表也能夠配合另外掩蓋其他金屬原料?；虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚?。

壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機(jī)臺設(shè)備中，長時(shí)間會觸摸化學(xué)藥劑，陶瓷原料可避免長時(shí)間觸摸化學(xué)藥劑發(fā)生腐蝕的現(xiàn)象。